(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
18/30350530 DC
BS ISO 21859. Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
10 стр.
Действует
Печатная копияПечатное издание
30.24 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
81.060.30 Advanced ceramics / Высококачественная керамика
Ключевые слова:
Semiconductor manufacture, Components, Plasma, Test methods, Ceramics, Special ceramics