(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
BS EN 62047-16:2015
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
16 стр.
Действует
Печатная копияПечатное издание
184.46 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие
Ключевые слова:
Integrated circuits, Electronic equipment and components, Vocabulary, Terminology, Semiconductor technology, Semiconductor devices, Electromechanical devices