(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
BS ISO 12406:2010
Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of arsenic in silicon
22 стр.
Действует
Печатная копияПечатное издание
257.04 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
71.040.40 Chemical. Including analysis of gases and surface chemical analysis / Химический анализ. Включая анализ газов
Ключевые слова:
Surface chemistry, Arsenic, Interferometry, Depth, Determination of content, Chemical analysis and testing, Silicon, Surfaces, Ions, Profile measurement, Mass spectrometry, Secondary