(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
DIN IEC 62047-12:2010-05
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure (IEC 47F/43/CD:2010)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 47F/43/CD:2010)
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Разработчик:
Зарубежные/DIN