(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
DIN EN 62047-17:2015-12
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015
28 стр.
Действует
Электронный (pdf)Печатная копияПечатное издание
190.01 € (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/DIN
ICS:
31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом