(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
DIN 50450-3:1991-03
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar and He by using a flame ionization detector (FID)
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания метана в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелие при помощи пламенно-ионизационного детектора
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID)
2 стр.
Действует
Печатное изданиеПечатная копияЭлектронный (pdf)
58.64 € (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/DIN
ICS:
71.100.20 Gases. Including compressed air and hydrogen / Газы промышленного применения. Включая сжатый воздух