Semiconductor devices - Mechanical and climatic test methods - Part 7: Internal moisture content measurement and the analysis of other residual gases (IEC 47/2021/CDV:2009); German version FprEN 60749-7:2009
Halbleiterbauelemente - Mechanische und klimatische Prüfverfahren - Teil 7: Messung des inneren Feuchtegehaltes und Analyse von anderen Restgasen (IEC 47/2021/CDV:2009); Deutsche Fassung FprEN 60749-7:2009