Стандарт DIN EN ISO 14644-14:2017-01

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)

Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности к использованию оборудования путем определения концентрации взвешенных в воздухе частиц

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016)

30 стр.

Действует

Электронный (pdf)Печатная копияПечатное издание

Англ.: 209.50€

Немец.: 167.57€

209.50 € (включая НДС 20%)

Разработчик:

Зарубежные/DIN

ICS:

13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды

Взамен:

DIN EN ISO 14644-14:2014-11

Ссылочные документы:

SEMI G67-0996SEMI F70-0611SEMI F28-1103SEMI E49-1104AIR 1167VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12JIS B 9926:1991-03-01DIN EN ISO 14644-9:2012-12DIN EN ISO 14644-7:2005-01DIN EN ISO 14644-3:2006-03ISO 8573-8:2004DIN EN ISO 14644-1:2016-06

На это издание ссылаются: