(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
DIN 50451-6:2014-11
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH<(Index)4>F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 6. Определение 36 элемента в сверхчистом растворе фтористого аммония (NH
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
14 стр.
Действует
Печатное изданиеПечатная копияЭлектронный (pdf)
107.62 € (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/DIN
ICS:
29.045 Semiconducting materials / Полупроводниковые материалы