(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
DIN EN 62047-21:2015-04
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014); Deutsche Fassung EN 62047-21:2014
16 стр.
Действует
Электронный (pdf)Печатная копияПечатное издание
155.60 € (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/DIN
ICS:
31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом