Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte