(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
IEC 62047-32:2019 ed1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
37 стр.
Действует
Электронный (pdf)Печатная копия
163.80 CHF (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/IEC
ICS:
31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие
Описание
IEC 62047-32:2019 specifies the test method and test condition for the nonlinear vibration of MEMS resonators. The statements made in this document apply to the development and manufacture for MEMS resonators.