Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal -- Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал. Часть 603. Номинальные характеристики неконтактных инструментов (инферометрическая микроскопия с фазовращением)
36 стр.
Действует
Электронный (pdf)
173.88 CHF (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/ISO
ICS:
17.040.20 Properties of surfaces / Свойства поверхностей