This European Standard specifies terms and procedures for the characterization of mass spectrometer leak detectors (MSLD). It is not intended to give a complete set of specifications for an acceptance test but a description of procedures that can be used without particular cali bration equipment. An MSLD has an integral high vacuurn system for maintaining the sensing element (mass spectrometer) at low operating pressure and for establishing a partial pressure related to the incoming gas flow. This pressure is measured quantitatively by the mass spectrometer. Such instments are able to selectively measure the flow of a tracer gas. In most cases the tracer gas will be heliurn, flowing dout of an object through a leak. The methods described in this standard are applicable without restrictions to helium as the tracer gas. For other gases, additional precautions may be necessary.
Diese Norm legt Begriffe und Verfahren für die Kenngrößenbestimmung von MSLD fest. Es soll kein kompletter Satz von Spezifikationen für eine Abnahmeprüfung gegeben, sondern es werden Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können. Diese Norm gilt für komplette Leckdetektoren mit einem Massenspektrometer (MS). Geräte dieser Art können selektiv den Gasstrom eines Prüfgases messen. In den meisten Fällen wird dieses Prüfgas Helium sein, das in ein oder aus einem Leck strömt. Ein MSLD in diesem Sinne hat ein integriertes Hochvakuumsystem, um den Sensor (das Massenspektrometer) bei niedrigem Arbeitsdruck zu halten und einen Partialdruck zu erzeugen, der von dem ankommenden Gasstrom abhängt. Dieser Druck wird vom MS gemessen. Die in dieser Norm beschriebenen Verfahren sind ohne Einschränkungen auf das Prüfgas Helium anwendbar. Für andere Gase können zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.