Ключевые слова:
Halbleiterbauelement, Prüfung, Durchbruch, Isolationsschicht, Leiterbahn, Informationstechnologie, Telekommunikation, Elektronik, Elektrotechnik, Begriffe, Prüfeinrichtung, Prüfling, Teststruktur, Abbildung, Durchführung, Ablaufdiagramm, Lebensdauerschätzung, Verfahren, Feldstärke, Angabe, Einzelheit, Schätzung, Literaturhinweis