Ключевые слова:
Halbleiterbauelement, Halbleiter, Leiter, Prüfverfahren, Ion, Feldeffekttransistor, Metall, Oxid, Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik, Telekommunikation, Akronym, Symbol, Beschreibung, Wafer, Prüfung, Prüfeinrichtung, Teststruktur, Stichprobenumfang, Beanspruchungsbedingung, elektrisches Feld, Spannung, Bauelement, Temperatur, Ausfallkriterium, Fehlerkriterium, Prüfaufzeichnung