Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ISO/DIS 14644-8:2011); German version prEN ISO 14644-8:2011
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ISO/DIS 14644-8:2011); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-8:2011