Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO/DIS 14644-2:2014); German version prEN ISO 14644-2:2014
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO/DIS 14644-2:2014); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-2:2014