Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
22 стр.
Действует
Печатная копияПечатное издание
184.46 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие, 31.140 Piezoelectric devices / Пьезоэлектрические и диэлектрические приборы