(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
BS ISO 21859:2019
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
12 стр.
Действует
Печатное изданиеПечатная копия
166.32 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
81.060.30 Advanced ceramics / Высококачественная керамика
Ключевые слова:
Semiconductor manufacture|Components|Plasma|Test methods|Ceramics|Special ceramics