(812) 309-78-59
(495) 223-46-76
PD ISO/TR 16268:2009
Surface chemical analysis. Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
30 стр.
Действует
Печатная копияПечатное издание
257.04 £ (включая НДС 20%)
Разработчик:
Зарубежные/BSI
ICS:
71.040.30 Chemical. Including reference materials / Химические реактивы. Включая эталонные материалы, 71.040.40 Chemical. Including analysis of gases and surface chemical analysis / Химический анализ. Включая анализ газов
Ключевые слова:
Surface chemistry, Chemical analysis and testing, Surfaces, Silicon, Substrates (insulating), Control samples, Ions, Certification (approval), Measurement