Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface particle cleanliness (ISO/DIS 14644-9:2008); German version prEN ISO 14644-9:2008
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifzierung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO/DIS 14644-9:2008); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-9:2008