Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 22-1: Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the capability approval procedures— 29 стр.
31.200 Integrated. Including electronic chips, logical and analogue microstructures / Интегральные схемы. Микроэлектроника. Включая электронные микросхемы, логические и аналоговые микроструктуры
