Ключевые слова:
Elektrotechnik, Halbleiterbauelement, Halbleiter, Bauelement, Mikrosystemtechnik, Systemtechnik, Prüfverfahren, Dauerschwingfestigkeit, Dünnschicht, Dünnschichttechnik, Werkstoff, Begriffe, Terminologie, Ermüdung, Mikroelektronik, Probe, Prüfeinrichtung, Prüfung, Prüfbericht, Informationstechnik, Telekommunikation, Elektronik, Schwingfestigkeitsdauer, Anhang, Grundlage, Technik, Literaturhinweis