Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO/DIS 14644-1:2014); German version prEN ISO 14644-1:2014
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO/DIS 14644-1:2014); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-1:2014