Geometrical product specification (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments (ISO 25178-604:2013); German version EN ISO 25178-604:2013
Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал. Часть 604. Номинальные характеристики неконтактных инструментов (когерентная сканирующая инферометрия)
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 604: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Weißlicht-Interferometrie) (ISO 25178-604:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-604:2013