This part of ISO 14644 specifies a methodology to assess the suitability of equipment (e.g. machinery, measuring equipment, process equipment, components and tools) for use in cleanrooms and associated controlled environments, with respect to airborne particle cleanliness as specified in ISO 14644-1. Particle sizes range from 0,1 µm to equal to or larger than 5 µm (given in ISO 14644-1).
The following items are not covered by this part of ISO 14644:
— assessment of suitability with respect to biocontamination;
— testing for suitability of decontamination agents and techniques;
— cleanability of equipment and materials;
— requirements on design of equipment and selection of materials;
— physical properties of materials (e.g. electrostatic, thermal properties);
— optimizing performance of equipment for specific process applications;
— selection and use of statistical methods for testing;
— protocols and requirements for local safety regulations.
Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben).
Die folgenden Aspekte sind nicht durch diesen Teil von ISO 14644 abgedeckt:
- Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination;
- Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken;
- Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien;
- Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien;
- physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften);
- Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen;
- Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung;
- Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.