Ключевые слова:
Oberfläche, Kontamination, Konzentration, Bereich, Bewertung, Definition, Gerät, chemische Eigenschaft, Material, Reinraumtechnik, Anforderung, Prüfung, Prüfverfahren, Reinheit, Reinraum, Luft, Tauglichkeit, Luftbeschaffenheit, Innenraumluft, Innenraumluftqualität, Reinraumtauglichkeit