BS EN 62047-12:2011

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures — 34 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-2:2006 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials — 25 стр.

BS EN 62047-3:2006

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Thin film standard test piece for tensile testing — 12 стр.

BS ISO 12107:2003

Действует

Metallic materials. Fatigue testing. Statistical planning and analysis of data — 36 стр.

IEC 62047-3:2006 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing — 15 стр.