BS EN ISO 14644-15:2017

Действует

Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration — 28 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды