PD ISO/TR 16268:2009

Действует

Surface chemical analysis. Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation — 30 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

71.040.30 Chemical. Including reference materials / Химические реактивы. Включая эталонные материалы

71.040.40 Chemical. Including analysis of gases and surface chemical analysis / Химический анализ. Включая анализ газов