DIN IEC 62047-10:2010-05

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials (IEC 47F/48/CD:2010)

Описание Изменения Ссылки Версии

На этот документ ссылаются

DIN EN 62047-10:2012-03

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011); German version EN 62047-10:2011 — 13 стр.