Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru

DIN EN 62047-16:2015-12

Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015 — 13 стр.
ICS
31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом
31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом