DIN 32564-1:2004-05

Действует

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology — 6 стр.

ICS

39.020 Precision. Including microsystems / Точная механика. Включая микросистемы

01.040.39 Precision mechanics. Jewellery (Vocabularies) / Точная механика. Ювелирное дело (Словари)