Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании Стандарты Контакты Заказать стандарт
СтандартыDIN

DIN EN 62047-17:2015-12

Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015 — 28 стр.
ОписаниеИзмененияСсылкиВерсии

Ссылочные документы

IEC 62047-2:2006 ed1.0
Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials — 25 стр.
DIN EN 62047-17:2011-06
Отменен
Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film (IEC 47F/78/CD:2011)