Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании Стандарты Контакты Заказать стандарт

DIN EN 62047-26:2014-05

Отменен
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 47F/178/CD:2013)
ОписаниеИзмененияСсылкиВерсии

На этот документ ссылаются

DIN EN 62047-26:2016-12
Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016); German version EN 62047-26:2016 — 29 стр.