DIN EN 62047-6:2010-07

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010 — 17 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом