Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании Стандарты Контакты Заказать стандарт
СтандартыDIN

DIN EN 62047-25:2017-04

Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 62047-25:2016); German version EN 62047-25:2016 — 23 стр.
ОписаниеИзмененияСсылкиВерсии

Ссылочные документы

DIN EN ISO 10012:2004-03
Действует
Measurement management systems - Requirements for measurement processes and measuring equipment (ISO 10012:2003); Trilingual version EN ISO 10012:2003 — 56 стр.
DIN IEC 62047-11:2010-06
Отменен
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials (IEC 47F/49/CD:2010)
DIN EN 62047-25:2014-05
Отменен
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 47F/183/CD:2014)