DIN EN 62047-21:2012-11

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 47F/127/CD:2012)

Описание Изменения Ссылки Версии

На этот документ ссылаются

DIN EN 62047-21:2015-04

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014 — 16 стр.