DIN EN ISO 14644-4:2003-06

Действует

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start up (ISO 14644-4:2001); German version EN ISO 14644-4:2001 — 55 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды