Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 21-1: Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of qualification approva lprocedures— 29 стр.
31.200 Integrated. Including electronic chips, logical and analogue microstructures / Интегральные схемы. Микроэлектроника. Включая электронные микросхемы, логические и аналоговые микроструктуры