Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru

ISO 14644-14:2016

Действует
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration — 28 стр.
ICS
13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды