ISO 14644-2:2000

Заменен

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2. Specification for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 — 14 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды