This European Standard describes methods for chemical analysis of ceramic coatings by means of
electron probe microanalysis (EPMA) using a scanning electron microscope (SEM) or an electron
probe microanalyser.
The methods described are limited to the examination of single layer coatings when the analysis is
carried out normal to the sample surface, but graded and multilayer coatings may also be analysed in
cross-section if the thickness of the individual layers or gradations are greater than the maximum
width of the volume of material within which characteristic or fluorescent X-rays are generated.
NOTE This method can also be used for the analysis of bulk materials.
Diese Europäische Norm legt Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung keramischer Schichten mittels Elektronenstrahl-Mikrobereichs-Analyse (ESMA) unter Verwendung eines Rasterelektronen-mikroskopes (REM) oder einer Elektronenstrahlmikrosonde fest. Die festgelegten Verfahren sind anwendbar auf die Untersuchung von Monolagenschichten, wenn die Analyse senkrecht zur Oberfläche der Probe durchgeführt wird, gelten jedoch auch für die Analyse von gradierten und Mehrlagenschichten im Querschliff, sobald die Dickenmaße der einzelnen Lagen oder deren Gradierungsdistanzen größer sind als die größte räumliche Ausdehnung des zur charakteristischen und/oder Fluoreszenzröntgenstrahlung angeregten Stoffvolumens. Dieses Verfahren kann auch zur Analyse von Rohstoffen angewendet werden.