This document gives guidance on methods of determining the elastic constants, density and thickness of thin
films by laser-induced surface acoustic waves.
It defines terms and described procedures.
Diese Norm gilt für die mechanische Charakterisierung von Oberflächen mit laserinduzierten Ultraschall-Oberflächenwellen zur Bestimmung von elastischen Konstanten, der Dichte sowie der Dicke von dünnen Schichten. Messverfahren und Begriffe sind festgelegt.