This part of EN 746 specifies safety requirements for atmosphere gas systems and their use in industrial
thermo-processing equipment and associated plant, including systems for the production of atmosphere
gases by reaction inside the thermo-processing equipment.
It applies to the supply of atmosphere gases, gaseous and liquid additions to, and their removal from industrial
thermo-processing equipment and associated plant, confined to equipment integrated in the thermoprocessing
and associated plant.
This part of EN 746 also details the anticipated significant hazards associated with atmosphere gas systems
and their use in industrial thermo-processing equipment and specifies the appropriate preventative measures
for the reduction or elimination of these hazards.
This part of EN 746 does not apply to atmosphere process gases, essential safety equipment, start-up,
operation and shut-down of thermo-processing plant for semi-conductor devices for which special additional
engineering requirements are necessary.
This part of EN 746 specifies the requirements to be met to ensure the safety of persons and property during
commissioning, start up, operation, shut down and maintenance, as well as in the event of foreseeable faults
or malfunctions which can occur in the equipment. It specifies the safety requirements at stages in the life of
the equipment, and its design, ordering, construction and use.
This part of EN 746 applies to equipment which is placed on the market after the date of issue of this
standard.
The hazards covered by this Part of EN 746 are listed in clause 4.
A table of typical atmosphere gases is given in Annex A.
Dieser Teil von EN 746 legt Sicherheitsanforderungen an Schutz- und Reaktionsgassysteme und ihre
Verwendung in industriellen Thermoprozessanlagen und damit verbundene Anlagen fest, einschließlich von
Systemen, bei denen die Schutz- und Reaktionsgase durch Reaktion innerhalb der Thermoprozessanlage
erzeugt werden.
Er gilt für die Zufuhr von Schutz- und Reaktionsgasen, von gasförmigen und flüssigen Zusätzen zu
Thermoprozess- und damit verbundenen Anlagen sowie deren Ableitung aus diesen Anlagen, wobei dies auf
die in diesen Anlagen integrierte Ausrüstung beschränkt ist.
Dieser Teil von EN 746 gibt im einzelnen signifikanten Gefährdungen an, die bei Schutz- und
Reaktionsgassystemen und ihrer Verwendung in industriellen Thermoprozessanlagen vorhanden sind, und
legt die entsprechenden Vorsorgemaßnahmen zur Verringerung oder Beseitigung dieser Gefährdungen fest.
Dieser Teil von EN 746 trifft nicht zu für atmosphärische Prozessgase, wesentliche Sicherheitseinrichtungen,
Anlauf, Betrieb und Abschaltung von Thermoprozessanlagen für die Halbleiterfertigung, für die zusätzliche,
spezielle technische Anforderungen notwendig sind.
Dieser Teil von EN 746 legt die Anforderungen fest, die einzuhalten sind, um die Sicherheit von Personen und
Eigentum während der Inbetriebsetzung, des Anfahrens, des Betriebes, der Abschaltung und der Wartung
sowie im Falle vorhersehbarer Fehlzustände oder Fehlfunktionen, die in der Anlage auftreten können,
sicherzustellen. Er legt die Sicherheitsanforderungen an die einzelnen Abschnitte der Einsatzdauer der
Anlage, ihre Konstruktion und Ausführung, Bestellung und ihre Verwendung fest.
Dieser Teil von EN 746 gilt für Anlagen, die nach dem Ausgabedatum dieser Norm auf den Markt gebracht
wurden.
Die von diesem Teil von EN 746 erfassten Gefährdungen sind in Abschnitt 4 aufgelistet.
In Anhang A ist eine Tabelle für typische Schutz- und Reaktionsgase angegeben.