This part of ISO 14644 specifies the classification of air cleanliness in terms of concentration of airborne
particles in cleanrooms and clean zones; and separative devices as defined in ISO 14644-7.
Only particle populations having cumulative distributions based on threshold (lower limit) particle
sizes ranging from 0,1 µm to 5 µm are considered for classification purposes.
The use of light scattering (discrete) airborne particle counters (LSAPC) is the basis for determination
of the concentration of airborne particles, equal to and greater than the specified sizes, at designated
sampling locations.
This part of ISO 14644 does not provide for classification of particle populations that are outside the
specified lower threshold particle-size range, 0,1 µm to 5 µm. Concentrations of ultrafine particles
(particles smaller than 0,1 µm) will be addressed in a separate standard to specify air cleanliness
by nano-scale particles. An M descriptor (see Annex C) may be used to quantify populations of
macroparticles (particles larger than 5 µm).
This part of ISO 14644 cannot be used to characterize the physical, chemical, radiological, viable or
other nature of airborne particles.
Dieser Teil der ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen sowie von SD-Modulen (en: separative device, SD) nach ISO 14644-7 anhand der Konzentration luftgetragener Partikel.
Für Klassifizierungszwecke werden nur Partikelgruppen in Betracht gezogen, deren Summenhäufigkeitsverteilung auf dem Schwellenwert der Partikelgröße (untere (Nachweis-) Grenze) beruht, der von 0,1 µm bis 5 µm reicht.
Die Anwendung von Streulicht-Einzelpartikelzählern (LSAPC, en. light scattering (discrete) airborne particle counter) ist die Grundlage für die Bestimmung der Konzentration luftgetragener Partikel gleich und größer dem festgelegten Größenbereich an gekennzeichneten Probenahmeorten.
Dieser Teil der ISO 14644 trifft nicht auf die Klassifizierung von Partikelgruppen zu, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (nanoskalige Partikel kleiner als 0,1 µm) werden in einem anderen Teil der Normenreihe behandelt, der die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration luftgetragener Nanopartikel festlegt, während ein M-Deskriptor (siehe Anhang C) zur Quantifizierung von Makropartikelgruppen (Partikel größer als 5 µm) angewendet werden darf.
Dieser Teil der ISO 14644 eignet sich nicht zur Charakterisierung der physikalischen, chemischen, radiologischen sowie der lebensfähigen (aktiven) oder der anderen Arten von luftgetragenen Partikeln.