This document provides requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments which are linked to the ISO standard for cleanliness classes by chemical concentration (see ISO 14644-8).
The following are outside the scope of this document:
— health and safety requirements;
— compatibility with cleaning agents and techniques;
— cleanability;
— biocontamination;
— specific requirements of equipment and materials for processes and products;
— design details of equipment.
Dieses Dokument enthält Anforderungen und Richtlinien zur Bewertung der chemischen luftgetragenen Reinheit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien, die für den Gebrauch in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen vorgesehen sind, die mit der ISO-Norm für Reinheitsklassen anhand der chemischen Konzentration (siehe ISO 14644-8) zusammenhängen.
Die folgenden Bereiche werden von diesem Dokument nicht abgedeckt:
- Gesundheits- und Sicherheitsanforderungen;
- Kompatibilität mit Reinigungsmitteln und -techniken;
- Reinigungsfähigkeit;
- Biokontamination;
- bestimmte Anforderungen an Ausrüstungsgegenstände und Materialien für Prozesse und Produkte;
- Konstruktionsdetails der Ausrüstungsgegenstände.