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ÖNORM EN ISO 14644-6:2007-11

Действует
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary (ISO 14644-6:2007)
Diese Internationale Norm ist eine Zusammenstellung der in den übrigen Teilen dieser Normenreihe sowie in der ÖNORM EN ISO 14698-1 und -2 verwendeten Begriffe. Die in dieser Norm aufgeführten Begriffe wurden wortwörtlich aus den übrigen Teilen übernommen. Daher sind in einigen Fällen zwei unterschiedliche Definitionen für den gleichen Begriff angegeben.
ICS
13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды