This part of ISO 14644 establishes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications. Recommendations on testing and measuring methods, as well as information about surface characteristics, are given in Annexes A to D.
This part of ISO 14644 applies to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments, such as walls, ceilings, floors, working environments, tools, equipment and products. The classification of surface cleanliness by particle concentration (SCP) is limited to particles between 0,05 µm and 500 µm.
Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikulären Reinheitsgrade auf festen
Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf-und
Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in den Anhängen A bis D enthalten.
Dieser Teil der ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen,
wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und
Produkte. Die SCP-Klassifizierung (Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit, en: classification of
surface cleanliness by particle concentration, SCP) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 µm und
500 µm begrenzt.